Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt loại n SnO₂ pha tạp Ta trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Tạp chí Khoa học và Công nghệ, Số 43B, 2020 
 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT LOẠI n SnO2 
 PHA TẠP Ta TRÊN ĐẾ THẠCH ANH BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ 
 MAGNETRON DC 
 NGÔ NGỌC HƢNG1; ĐẶNG HỮU PHÚC1; NGUYỄN THỊ MỸ HẠNH2; LÊ TRẤN3, 
 TRẦN BÍCH THỦY 
 1Khoa Khoa học Cơ bản, trường Đại học Công nghiệp TP. HCM; 
 2Khoa cơ khí, trường Đại học Công nghiệp TP. HCM; 
 3Khoa vật lý-vật lý kỹ thuật, trường Đại học Khoa học tự nhiên TP.HCM 
 danghuuphuc@iuh.edu.vn 
Tóm tắt. Công trình này tập trung nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt SnO2 pha tạp Ta (TTO) 
đƣợc lắng đọng ở các nhiệt độ đế khác nhau. Màng TTO đƣợc lắng đọng trên đế thạch anh bằng phƣơng 
pháp phún xạ magnetron DC. Cấu trúc tinh thể và tính chất quang và điện của màng đƣợc khảo sát bằng 
giản đồ nhiễu xạ tia X, phổ truyền qua Uv-Vis và phép đo Hall. Kết quả cho thấy, màng có cấu trúc tứ 
giác rutile của SnO2 đa tinh thể với mặt ƣu tiên SnO2 (101). Màng đạt giá trị điện trở suất thấp nhất ở điều 
kiện tối ƣu ở 300oC là 4,50 x 10-3 cm với nồng độ hạt tải và độ linh động lần lƣợt là 5,51 x 1020 cm-3, 
3,08 cm2V-1s-1 đồng thời độ truyền qua trung bình của màng trong vùng khả kiến trên 80%. Đặc trƣng I-V 
của tiếp xúc dị thể n-TTO/p-Si đƣợc khảo sát ở điều kiện đƣợc chiếu sáng và không chiếu sáng. 
Từ khóa. màng loại n SnO2:Ta, phún xạ, magnetron DC, X-ray, Hall, I-V. 
 STUDYING, FABRICATING AND INVESTIGATING THE INFLUENCE OF 
 DOPANTS ON ELECTRICAL AND OPTICAL PROPERTIES OF SnO2:In (TIO) AND 
 SnO2:Zn (ZTO) PREPARED BY DC MAGNETRON SPUTTERING 
Abstract. This report focuses on studying and fabricating Ta-doped SnO2 (TTO) films following various 
depositing temperatures. TTO films were deposited on quartz glass substrates using a direct current (DC) 
magnetron sputtering method. Structure and opto-electrical properties were investigated by X-ray 
patterns, Uv-Vis spectra and Hall measurement. These results show a tetragonal rutile structure of the 
SnO2 in which the preferred (101) was dominant. The best conductivity of TTO film was achieved at the 
optimum depositing temperature of 300oC with resistivity, hole concentration, and mobility of 4,50 x 10-3 
cm, 5,51 x 1020 cm-3, 3,08 cm2V-1s-1, respectively. Furthermore, the average transmittance of the films 
was above 80%. The I-V characteristics of the n-TTO/p-Si was investigated in the dark and illumination. 
Keywords. n-type SnO2:Ta, sputtering, magnetron DC, X-ray, Hall, I-V. 
1. ĐẶT VẤN ĐỀ 
Ngày nay, nghiên cứu màng dẫn điện trong suốt (TCOs) đƣợc quan tâm nghiên cứu cho các vật liệu ứng 
dụng trong các thiết bị quang điện nhƣ màng hình tinh thể lỏng, pin mặt trời, LED, OLED [1-6]. Trong 
 -4
đó, màng In2O3 pha tạp Sn (ITO) đƣợc sử dụng rộng rãi làm màng bởi vì dẫn điện tốt (~ 2 x 10 cm) 
đồng thời có độ truyền qua cao (80 – 90 %) trong vùng ánh sáng khả kiến [7]. Tuy nhiên, số lƣợng 
Indium trong tự nhiên rất là hiếm và đắt dẫn đến chi phí sản xuất rất cao. Vì vậy nhu cầu tìm kiếm vật liệu 
thay thế In rất cần thiết, so với ITO SnO2 cũng có các ƣu điểm tƣơng đồng nhƣ độ rộng vùng cấm lớn 
3.87 – 4.3 eV, độ truyền qua trong vùng ánh sáng khả kiến cao, độ dẫn cao, bền hóa và nhiệt [9]. Các 
phƣơng pháp chế tạo màng SnO2 và SnO2 pha tạp có thể kể đến nhƣ lắng đọng hơi hóa học (CVD) [10-
11], phun nhiệt phân [12-13], bốc bay [14], phún xạ [17]. Trong đó, phƣơng pháp phún xạ magnetron DC 
đƣợc lựa chọn bởi vì những ƣu điểm về kinh tế, triển khai trong công nghiệp so với phún xạ magnetron 
RF, PLD và không cần phải xử lý nhiệt so với phƣơng pháp nhƣ Sol-gel. Vì vậy, trong công trình này, 
tính chất cấu trúc, quang điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2 loại n pha tạp Ta (TTO) đƣợc lắng đọng 
trên đế thạch anh bằng phƣơng pháp phún xạ magnetron DC sẽ đƣợc nghiên cứu. 
© 2020 Trƣờng Đại học Công nghiệp thành phố Hồ Chí Minh 
 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT LOẠI n SnO2 PHA TẠP Ta 13 
 TRÊN ĐẾ THẠCH ANH BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 
 2. PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM 
Màng TTO đƣợc chế tạo bằng phƣơng pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm hỗn hợp (SnO2 và Ta2O5), 
với 6 phần trăm khối lƣợng (% wt) Ta2O5, trong hệ tạo màng Univex 450. Đế đƣợc làm sạch bằng dung 
dịch NaOH 10% và acetone để loại bỏ tạp bẩn, rồi đƣợc rửa bằng nƣớc cất và đƣợc sấy khô trƣớc khi 
đƣợc đƣa vào buồng chân không. Trƣớc khi tiến hành phún xạ tạo màng, bia vật liệu đƣợc tẩy bề mặt 
bằng phóng điện plasma trong môi trƣờng khí Argon ở áp suất khoảng 10-3 Torr trong thời gian 15 phút. 
Áp suất khí nền ban đầu đạt 10-5 torr, áp suất làm việc 4 x 10-3 Torr, công suất phún xạ là 15W và khoảng 
cách giữa bia và đế 7cm. Độ dày màng đƣợc xác định bằng phần mềm mô phỏng Scout bằng làm khớp 
phổ truyền qua UV-VIS với mô hình đƣợc xây dựng. Các màng có bề dày khoảng 460 nm. Cấu trúc tinh 
thể của màng đƣợc xác định bằng phƣơng pháp nhiễu xạ tia X trên máy D8–ADVANCE. Phổ truyền qua 
trong vùng từ 2001100 nm đƣợc đo bằng máy UV-Vis Jasco V-530. Tính chất điện đƣợ ... 00 oC, màng TTO có tính chất điện loại n và điện trở suất thấp đạt đƣợc là 2,01 
x 10-3 cm tƣơng ứng nồng độ hạt tải và độ linh động lần lƣợt là 5,51 x 1020 cm-3, 5,64 cm2V-1s-1 ở nhiệt 
độ lắng đọng 300 oC. Tuy nhiên, điện trở suất của màng tăng khi nhiệt độ lắng đọng trên 400oC do độ linh 
động giảm, kết quả trên đƣợc giải thích do hiện tƣợng tán xạ giao động mạng khi nồng độ hạt tải lớn [5]. 
 3.2 Tính cấu trúc của màng TTO được lắng đọng ở các nhiệt độ khác nhau 
Hình 1 trình bày giản đồ nhiễu xạ tia X của màng TTO lắng đọng theo nhiệt độ. Kết quả cho thấy, màng 
TTO có cấu trúc vô định hình khi đƣợc lắng đọng ở nhiệt độ phòng và màng bắt đầu tinh thể cấu trúc tứ 
 o
giác rutile (JCPDS No. 41-14445) với mặt mạng ƣu tiên là SnO2 (101) ở nhiệt độ đế 200 C và cƣờng độ 
đỉnh SnO2 (101) giảm khi nhiệt độ lắng đọng tăng. Sự xuất hiện của đỉnh SnO2 (101) cũng đƣợc quan sát 
ở các công trình SnO2 pha tạp Sb hay F [18,19]. Ngoài ra, sự xuất hiện và phát triển của đỉnh SnO2 (101) 
đƣợc giải thích dựa vào công trình mô phỏng lý thuyết [20] do sự đóng góp của khuyết oxy. Ngoài ra, 
cƣờng độ của đỉnh SnO2 (101) giảm và sự xuất hiện SnO2 (110) và (200) đƣợc giải thích dựa vào công 
 2+
trình[7], mặt SnO2 (101) (mặt SnO2 (101) là mặt khử chứa nhiều ion Sn ) chuyển sang mặt SnO2 (110) 
 4+
(mặt SnO2 (110) là mặt oxy hóa chứa nhiều Sn ) khi áp suất riêng phần oxy tăng. Trong công trình này, 
áp suất riêng phần oxy tăng do oxy nhã ra từ thiết bị trong buồng chân không khi nhiệt độ lắng đọng tăng 
nhƣ đã đề cập trong công trình [21]. 
 © 2020 Trƣờng Đại học Công nghiệp thành phố Hồ Chí Minh 
 14 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT LOẠI n SnO2 PHA TẠP Ta 
 TRÊN ĐẾ THẠCH ANH BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 
 200 SnO2 (101)
 SnO2 (110) TTO - 500
 100
 SnO2 (211)
 0
 200
 TTO - 400
 100
 (CPS)
 0
 300
 200 TTO - 300
 100
 0
 400
 300 TTO - 200
 200
 Cöôøng ñoä Cöôøngnhieãu ñoä xaï 100
 0
 30
 TTO - tp
 20
 10
 0
 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70
 2 theta
 Hình 1. Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng TTO lắng đọng ở các nhiệt độ đế khác nhau. 
 400
 TTO - 200
 TTO - 300
 300 TTO - 400
 TTO - 500
 200
 100
 Cöôøng ñoä Cöôøngnhieãu xaï ñoä (CPS) 
 0
 33.0 33.2 33.4 33.6 33.8 34.0 34.2 34.4 34.6
 2 theta
 Hình 2. Đỉnh (101) đƣợc làm khớp hàm Gauss của các màng TTO lắng đọng ở các nhiệt độ khác nhau. 
 Ngoài ra, đỉnh SnO2 (101) của các màng TTO lắng đọng theo nhiệt độ đƣợc làm khớp bằng hàm 
Gauss cho thấy 2 dịch về phía góc nhỏ chứng tỏ Ta thay thế Sn tăng theo nhiệt độ lắng đọng, do bán 
kích nguyên tử Ta (64 Å) nhỏ hơn so với Sn (69 Å). 
 3.3 Tính quang của màng TTO được lắng đọng ở các nhiệt độ khác nhau 
Hình 3 biễu diễn phổ truyền qua trong vùng bƣớc sóng từ 200 – 1100 nm của các màng TTO đƣợc lắng 
đọng ở các nhiệt độ khác nhau. Kết quả cho thấy màng TTO đƣợc lắng đọng ở nhiệt độ phòng có bờ hấp 
thụ ở vùng ánh sáng khả kiến. Kết quả trên cũng đã đƣợc quan sát ở màng SnO2 pha tạp Sb hay Ga [7, 11] 
và đƣợc giải thích do sự tồn tại của pha SnO. Pha này hấp thụ một phần ánh sáng do đó độ rộng vùng cấm 
của màng TTO đƣợc chế tạo ở điều kiện này nhỏ (Eg = 3,36 eV). Khi nhiệt độ lắng đọng trên 200oC, bờ 
hấp thụ dịch về vùng bƣớc sóng ngắn do pha SnO nhận đƣợc năng lƣợng nhiệt từ đế chuyển thành pha 
SnO2 và độ rộng vùng cấm đạt đƣợc là 4,57 eV. 
 © 2020 Trƣờng Đại học Công nghiệp thành phố Hồ Chí Minh 
 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT LOẠI n SnO2 PHA TẠP Ta 15 
 TRÊN ĐẾ THẠCH ANH BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 
 100
 80
 60
 TTO - tp
 TTO - 200
 40
 TTO - 300
 TTO - 400
 Ñoä truyeàn T%qua truyeàn Ñoä TTO - 500
 20
 0
 200 400 600 800 1000
 Böôùc soùng  (nm) 
 Hình 3. Phổ truyền qua của màng TTO lắng đọng ở các nhiệt độ khác nhau. 
 Bảng 2. Kết quả giá trị thông số figure of merit của màng TTO-x lắng đọng ở các nhiệt độ khác nhau. 
 Độ truyền qua tại Hệ số giá trị bản chất 
 Điện trở mặt 
 Mẫu T bước sóng 550 nm figure of merit 
 RS ( / ) −1
 T550 ( / ) 
 TTO – 200 200 8,99 0,73 0,08 
 TTO – 300 300 4,02 0,69 0,17 
 TTO – 400 400 4,08 0,66 0,16 
 TTO – 500 500 23,96 0,63 0,02 
 Bên cạnh các thông số tính chất điện và quang nhƣ điện trở suất, nồng độ hạt tải, độ linh độ và truyền 
qua quang học, hệ số giá trị bản chất (figure of merit ( )) cũng là thông số quan trọng để đánh giá chất lƣợng 
màng TTO có đáp ứng sử dụng làm điện cực trong suốt. ( ) đƣợc xác định bằng tỷ số TR10 trên Rs (TR10/Rs, 
trong đó TR và Rs là giá trị độ truyền qua ở bƣớc sóng∅ 550 nm và điện trở mặt tƣơng ứng [22-24]. Giá trị ( ) 
của màng TTO – x đƣợc trình bày ở Bảng 2. Trong tất cả∅ các màng TTO – x, màng TTO – 300 có giá trị lớn 
nhất 0,17 và giá trị này đáp ứng đƣợc tiêu chuẩn của màng dẫn điện trong suốt. ∅
 3.4 Tính cấu trúc của màng TTO được lắng đọng ở các nhiệt độ khác nhau 
 0
 5 10
 4 10-1
 3 10-2
 Ln(I)
 2 10-3 Doøng thuaän
 I (mA) I
 Doøng nghòch
 1 Theá môû 
 10-4
 0,45 V
 0
 -6 -4 -2 0 2 4 6 10-5
 -1 V (Volt) 0 1 2 3 4 5
 V(Volt) 
Hình 4.A) Đặc trƣng I-V của tiếp xúc dị thể n-TTO 300/p-Si. B) Đồ thị bán-log của đặc trƣng I–V của 
tiếp xúc dị thể n-TTO 300/p-Si. Giá trị tỷ số cƣờng độ dòng thuận (IF) và dòng nghịch (IR) tại ± 2 V. 
 © 2020 Trƣờng Đại học Công nghiệp thành phố Hồ Chí Minh 
 16 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT LOẠI n SnO2 PHA TẠP Ta 
 TRÊN ĐẾ THẠCH ANH BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 
 Để đánh giá khả năng ứng dụng màng TTO trong thiết bị quang điện, màng TTO đƣợc lắng đọng 
trên đến Si loại n (đế thƣơng mại với điện trở suất và nồng độ hạt tải lần lƣợt là 1–5  cm and 1 × 1015 
cm−3). Đặc trƣng I–V của cấu trúc tiếp xúc dị thể n-TTO-300/p-Si đƣợc trình bày ở Hình 4. Hình 4A cho 
thấy đặc trƣng chỉnh lƣu của diode của n-TTO-300/p-Si (khảo sát trong điều kiện không chiếu sáng). Thế 
mở của tiếp xúc đạt đƣợc 0,45 V và cƣờng độ dòng rò 0,35 mA ở thế nghịch −5 V. Tỷ số cƣờng độ dòng 
phân cực thuận và phân cực nghịch (đồ thị bán-logarith) của tiếp xúc là 35 ở 2.0 V, và đƣợc trình bày ở 
Hình 4B. 
 III (I~V1,2)
 100
 II (I~V2,4)
 10-1
 1,4
 10-2 I (I~V )
 I (A) I 
 10-3
 10-4
 0.01 0.1V (Volt) 1
 Hình 5. Đồ thị log-log của đặc trƣng I–V tiếp xúc n-TTO /p-Si. 
 Để xác định cơ chế dịch chuyển điện tích của tiếp xúc dị thể n-TTO-300/p-Si, đặc trƣng I-V của 
 m
tiếp xúc thể hiện đồ thị log(I/Io)-V sử dụng mối quan hệ (I~V ). Kết quả đặc trƣng ba vùng tuyến tính 
khác nhau và đƣợc trình bày ở Hình 5. Vùng 1, vùng thế thấp có giá trị hệ số góc là 1,2 (I ~ V1,2) thể hiện 
tính chất đặc trƣng ohmic. Hệ số góc ở vùng 2 có giá trị lớn hơn 2 (~ 2,4), đặc trƣng dòng do sự đóng góp 
của dòng giới hạn điện tích không gian (SCLC) với sự hiện diện những bẫy ở gần mức fermi của lớp p-Si. 
Sự hiện diện của dòng SCLC chiếm ƣu thế của đặc trƣng dòng thế (I-V) thƣờng đƣợc quan sát thấy ở các 
bán dẫn có độ rộng vùng cấm lớn [26]. Ở vùng thế cao (vùng 3) giá trị của đặc trƣng log-log cho giá trị hệ 
số góc là 1,4 (I ~ V1,4), có thể lý giải rằng cơ chế vùng nghèo là trội, có nghĩa là hạt tải đa số (eletron) 
khuếch tán qua tiếp giáp do sự bơm hạt tải từ lớp bán dẫn n sang lớp p và các bẩy đã đƣợc lắp đầy. 
 101
 100
 Heä soá goùc = 0,098
 10-1 0.32
 Heä soá lyù töôûng = 3,76
 -2
 I (A) I 10 Ñaëc tröng I-V khoâng chieáu saùng
 Ñaëc tröng I-V chieáu saùng (Volt) V
 10-3 0.24
 10-4
 -6 -4 -2 0 2 4 6 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3
 V (Volt) Ln (I) 
Hình 5. A) Đồ thị bán-log của đặc trƣng I–V tiếp xúc n-TTO /p-Si chiếu sáng (màu đỏ) và không 
chiếu sáng (màu đen). B) Đồ thị đặc trƣng V và Ln(I) của tiếp xúc dị thể n-TTO /p-Si. 
 © 2020 Trƣờng Đại học Công nghiệp thành phố Hồ Chí Minh 
 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT LOẠI n SnO2 PHA TẠP Ta 17 
 TRÊN ĐẾ THẠCH ANH BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 
 Để đánh giá khả năng ứng dụng của tiếp giáp làm cảm biến quang học tiếp xúc đƣợc khảo sát ở 
điều kiện chiếu sáng. Kết quả cho thấy cƣờng độ dòng ở điều kiện phân cực nghịch tăng (27 mA) ở -5 V 
(Hình 5A). Kết quả trên đƣợc giải thích: khi ánh sáng đƣợc chiếu vào cấu trúc tiếp xúc n-TTO-300/p-Si, 
ánh sáng đƣợc hấp thu bởi lớp Si, hệ quả hiện tƣợng quang sinh xảy ra và số lƣợng lỗ trống trôi về lớp 
TTO -300 nhƣ đƣợc đề cập trong công trình [25], vì thế cƣờng độ dòng rò tăng đáng kể. Bên cạnh đó, hệ 
số lý tƣởng của tiếp xúc cũng đƣợc xác định [26] bằng cách xác định hệ số góc của đồ thị 
  
phân cực thuận V- Ln(I) (Hình 5). Kết quả thu đƣợc hệ số lý tƣởng của diode là 3,76 đáp ứng đƣợc tiêu 
    ))
chuẩn của diode lý tƣởng. 
KẾT LUẬN 
Trong công trình này, chúng tôi nghiên cứu ảnh hƣởng của nhiệt độ đế đến cấu trúc tinh thể và tính chất 
quang điện của màng TTO. Màng đạt đƣợc tính chất điện loại n tốt nhất ở 300oC với điện trở suất, nồng 
độ hạt tải và độ linh động lần lƣợt là 4,50 x 10-3 cm. 5,51 x 1020 cm-3, 3,08 cm2V-1s-1. Màng TTO đƣợc 
chế tạo có cấu trúc đa tinh thể rultile với mặt ƣu tiên SnO2 (101). Độ truyền qua của màng trong vùng khả 
kiến trên 80%, và hệ số giá trị bản thân (figure of merit) 0,17 ( / )−1, kết quả này đáp ứng đƣợc tiêu 
chuẩn của màng dẫn điện trong suốt. Đặc trƣng I-V của màng TTO đƣợc chế tạo trên đế loại p Sillic cho 
đặc trƣng chỉnh lƣu với hệ số lý tƣởng 3,76 và thế mở 0,45 V. 
LỜI CẢM ƠN 
Nghiên cứu này đƣợc tài trợ bởi Quỹ Phát triển khoa học và công nghệ Quốc gia (NAFOSTED) trong đề 
tài mã số103.03-2017.302 
TÀI LIỆU THAM KHẢO 
 [1] K.L. Chopra, S. Major, D.K. Pandya, Transparent conductors—a status review, Thin Solid Films. 102 
 (1983) 1–46. 
 [2] T.J. Coutts, D.L. Young, X. Li, Characterization of transparent conducting oxides, Mrs Bull. 25 (2000) 58–65. 
 [3] K. Ravichandran, K. Thirumurugan, Type Inversion and Certain Physical Properties of Spray Pyrolysed 
 SnO2:Al Films for Novel Transparent Electronics Applications, J. Mater. Sci. Technol. 30 (2014) 97–102. 
 [4] K.-Y. Park, G.-W. Kim, Y.-J. Seo, S.-N. Heo, H.J. Ko, S.-H. Lee, T.K. Song, B.H. Koo, Effect of 
 annealing temperature on properties of p-type conducting Al/SnO2/Al multilayer thin films deposited by 
 sputtering, J. Ceram. Process. Res. 13 (2012) s385–s389. 
 [5] Y. Huang, Z. Ji, C. Chen, Preparation and characterization of p-type transparent conducting tin-gallium 
 oxide films, Appl. Surf. Sci. 253 (2007) 4819–4822. 
 [6] T. Yang, X. Qin, H. Wang, Q. Jia, R. Yu, B. Wang, J. Wang, K. Ibrahim, X. Jiang, Q. He, Preparation and 
 application in p–n homojunction diode of p-type transparent conducting Ga-doped SnO2 thin films, Thin 
 Solid Films. 518 (2010) 5542–5545. 
 [7] H.P. Dang, Q.H. Luc, V.H. Le, T. Le, The influence of deposition temperature and annealing temperature 
 on Ga-doped SnO2 films prepared by direct current magnetron sputtering, J. Alloys Compd. 687 (2016) 
 1012–1020. 
 [8] C.-Y. Tsay, S.-C. Liang, Fabrication of p-type conductivity in SnO2 thin films through Ga doping, J. Alloys 
 Compd. 622 (2015) 644–650. 
 [9] S. Sujatha Lekshmy, K. Joy, Structural and optoelectronic properties of indium doped SnO2 thin films 
 deposited by sol gel technique, J. Mater. Sci. Mater. Electron. 25 (2014) 1664–1672. 
 [10] Z. Ji, Z. He, Y. Song, K. Liu, Z. Ye, Fabrication and characterization of indium-doped p-type SnO2 thin 
 films, J. Cryst. Growth. 259 (2003) 282–285. 
 © 2020 Trƣờng Đại học Công nghiệp thành phố Hồ Chí Minh 
18 NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT LOẠI n SnO2 PHA TẠP Ta 
 TRÊN ĐẾ THẠCH ANH BẰNG PHƢƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 
 [11] H.P. Dang, Q.H. Luc, T. Le, V.H. Le, The Optimum Fabrication Condition of p-Type Antimony Tin Oxide 
 Thin Films Prepared by DC Magnetron Sputtering, J. Nanomater. 2016 (2016) 1–11. 
 [12] J. Ni, X. Zhao, X. Zheng, J. Zhao, B. Liu, Electrical, structural, photoluminescence and optical properties of 
 p-type conducting, antimony-doped SnO2 thin films, Acta Mater. 57 (2009) 278–285. 
 [13] J.M. Wu, A room temperature ethanol sensor made from p-type Sb-doped SnO2 nanowires, 
 Nanotechnology. 21 (2010) 235501. 
 [14] S. Yu, W. Zhang, L. Li, D. Xu, H. Dong, Y. Jin, Fabrication of p-type SnO2 films via pulsed laser deposition 
 method by using Sb as dopant, Appl. Surf. Sci. 286 (2013) 417–420. 
 [15] S.S. Pan, G.H. Li, L.B. Wang, Y.D. Shen, Y. Wang, T. Mei, X. Hu, Atomic nitrogen doping and p-type 
 conduction in SnO2, Appl. Phys. Lett. 95 (2009) 222112. 
 [16] S.S. Pan, S. Wang, Y.X. Zhang, Y.Y. Luo, F.Y. Kong, S.C. Xu, J.M. Xu, G.H. Li, p-type conduction in nitrogen-
 doped SnO2 films grown by thermal processing of tin nitride films, Appl. Phys. A. 109 (2012) 267–271. 
 [17] J.M. Ni, X.J. Zhao, J. Zhao, Structural, Electrical and Optical Properties of p-Type Transparent Conducting 
 SnO2:Zn Film, J. Inorg. Organomet. Polym. Mater. 22 (2012) 21–26. 
 [18] J. Montero, C. Guillén, C.G. Granqvist, J. Herrero, G.A. Niklasson, Preferential orientation and surface 
 oxidation control in reactively sputter deposited nanocrystalline SnO2:Sb films: electrochemical and optical 
 results, ECS J. Solid State Sci. Technol. 3 (2014) N151–N153. 
 [19] . M.B. Mohagheghia, N. Shahtahmasebi, M.R. Alinejad, A. Youssefi, M. ShokoohSaremi, Fe-doped SnO2 
 transparent semi-conducting thin films deposited by spray pyrolysis technique: thermoelectric and p-type 
 conductivity properties, Solid State Sci. 11 (2009) 233-239. 
 [20] . G. Qin, D. Li, Z. Feng, S. Liu, First principles study on the properties of p-type conducting In:SnO2, Thin 
 Solid Films. 517 (2009) 3345–3349. 
 [21] . A. Rabis, D. Kramer, E. Fabbri, M. Worsdale, R. Kötz, T.J. Schmidt, Catalyzed SnO2 Thin Films: 
 Theoretical and Experimental Insights into Fabrication and Electrocatalytic Properties, J. Phys. Chem. C. 
 118 (2014) 11292–11302. 
 [22] . V. Fauzia, M.N. Yusnidar, L.H. Lalasari, A. Subhan, A.A. Umar, High figure of merit transparent 
 conducting Sb-doped SnO2 thin films prepared via ultrasonic spray pyrolysis, J. Alloys Compd. 720(2017) 
 79-85. 
 [23] K. Ravichandran, K. Thirumurugan, Type inversion and certain physical properties of spray pyrolyzed 
 SnO2:Al films for novel transparent electronics applications, J. Mater. Sci. Technol. 30 (2014) 97-102. 
 [24] A.A. Yadav, Influence of film thickness on structural, optical, and electrical properties of spray deposited 
 antimony doped SnO2 thin films, Thin Solid Films 591 (2015) 18e24, 
 https://doi.org/10.1016/j.tsf.2015.08.013. 
 [25] T.T.A. Tuan, D.-H. Kuo, A.D. Saragih, G.-Z. Li, Electrical properties of RF-sputtered Zn-doped GaN films 
 and p -Zn-GaN/ n -Si hetero junction diode with low leakage current of 10 -9 A and a high rectifcation ratio 
 above 10 5, Mater. Sci. Eng.: B 222 (2017) 18–25. 
 [26] . M. Dutta, D. Basak, p-ZnO∕n-Si heterojunction: sol-gel fabrication, photoresponse properties, and transport 
 mechanism, Appl. Phys. Lett. 92 (2008) 212112. 
 Ngày nhận bài: 19/03/2019 
 Ngày chấp nhận đăng: 16/08/2019 
© 2020 Trƣờng Đại học Công nghiệp thành phố Hồ Chí Minh